GaN RF 전력증폭소자 공정 개발
eceshim 2015.03.30. 12:54
대충 뭘 개발하고 뭐가 엿을 먹일지 대충 감이 잡히네요. 장비야 아마 상용 FAB 장비를 사용할것이고 원하는 수율을 맞추기 위해 recipe 만드는게 일이겟네요.
Coral66 2015.04.02. 00:19
SiC기판이겠죠.
eceshim 2015.04.02. 09:56
Coral66
사파이어 이겟죠? Si 기판위에 결정 성장 시키는 연구도 하는 걸로 아는데 잘 될련지 걱정이네요
Coral66 2015.04.10. 21:49
RF용 GaN는 SiC에 올리는게 정석입니다.
Si 및 사파이어 모두 SiC보다 spec및 성능상 열등한 기판입니다. - 가격이 쌀수는 있읍니다만 -
Si 및 사파이어 모두 SiC보다 spec및 성능상 열등한 기판입니다. - 가격이 쌀수는 있읍니다만 -
Coral66 2015.04.10. 21:52
GaN HEMT on SiC 소자 성장이 워낙 어렵습니다. 연구에 돈이 많이 들어요.
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